Этот стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля и маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, заказы (или контракты) и т. д. для мишеней для распыления из вольфрама и вольфрамовых сплавов высокой чистоты для тонких пленок электронной техники. Настоящий стандарт распространяется на распыляемые мишени из вольфрама и вольфрамовых сплавов высокой чистоты для тонких пленок электронной техники, называемые в дальнейшем мишенями из вольфрама и вольфрамовых сплавов высокой чистоты.
YS/T 1025-2015 История
2015YS/T 1025-2015 Мишень для распыления из вольфрама и вольфрамового сплава высокой чистоты, используемая в электронной пленке