Настоящий стандарт определяет терминологию, свойства, технические требования, методы испытаний, правила проверки, а также упаковку, маркировку, хранение, транспортировку и т. д. антикоррозийных растворов буферного оксидного слоя для интегральных схем. Настоящий стандарт распространяется на растворы для буферного травления оксидного слоя интегральных схем. Этот стандарт не предполагает использования вопросов безопасности. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и гигиены труда, а также ограничений использования.
SJ/T 11507-2015 История
2015SJ/T 11507-2015 Буфер травления оксидного покрытия для интегральных схем