Настоящий стандарт определяет метод визуального контроля качества поверхности полированных пластин монокристалла карбида кремния (далее - «полированные пластины»). Настоящий стандарт распространяется на определение качества поверхности полированных пластин монокристалла карбида кремния, отполированных с одной или обеих сторон.
SJ/T 11504-2015 История
2015SJ/T 11504-2015 Метод испытаний качества поверхности полированного монокристаллического карбида кремния