SJ/T 11503-2015
Методы испытаний измерения шероховатости поверхности полированных пластин монокристаллического карбида кремния (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- SJ/T 11503-2015
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- Professional Standard - Electron
- Последняя версия
- SJ/T 11503-2015
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод испытания шероховатости поверхности монокристаллических полированных пластин карбида кремния, включая метод профилометра поверхности и метод атомно-силовой микроскопии. Настоящий стандарт распространяется на испытание шероховатости поверхности полированных пластин монокристалла карбида кремния. Среди них метод атомно-силовой микроскопии применим только к монокристаллическим полированным пластинам карбида кремния, которые были подвергнуты химически-механической или оптической полировке и имеют колебания шероховатости поверхности в диапазоне от нескольких десятых нанометра до нескольких микрон.
SJ/T 11503-2015 История
- 2015 SJ/T 11503-2015 Методы испытаний измерения шероховатости поверхности полированных пластин монокристаллического карбида кремния
