В настоящей спецификации указаны термины и определения, сорта, требования, методы испытаний, правила контроля, упаковка, маркировка, хранение и транспортировка монокристаллических полированных пластин карбида кремния. Настоящие технические условия применимы к монокристаллическим полированным пластинам карбида кремния с кристаллическими формами 6H и 4H, полированными с одной или обеих сторон, диаметром 100 мм или менее. В качестве эталона можно использовать монокристаллические полированные пластины карбида кремния с кристаллами других типов и размеров.
SJ/T 11502-2015 История
2015SJ/T 11502-2015 Спецификация на полированные пластины монокристаллического карбида кремния