Настоящий стандарт определяет метод определения кристаллической ориентации монокристалла карбида кремния методом рентгеновской дифракции ориентации. Настоящий стандарт распространяется на определение кристаллической ориентации монокристаллов карбида кремния с кристаллическими формами 6H и 4H.
SJ/T 11500-2015 История
2015SJ/T 11500-2015 Метод испытаний для измерения кристаллографической ориентации монокристаллического карбида кремния