Этот стандарт определяет методы испытаний типа проводимости, удельного сопротивления, подвижности и концентрации носителей кристаллических материалов карбида кремния. Настоящий стандарт применим к испытаниям электрических характеристик монокристаллов карбида кремния с удельным сопротивлением ниже 1×10 Ом·см и кристаллическими формами 6H и 4H в диапазоне температур (-263,15~426,85)℃.
SJ/T 11499-2015 История
2015SJ/T 11499-2015 Метод испытаний для измерения электрических свойств монокристаллического карбида кремния