SJ/T 11498-2015
Метод испытаний для измерения загрязнения кислородом сильнолегированных кремниевых подложек методом вторичной ионной масс-спектрометрии (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 11498-2015

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2015

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 11498-2015

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод определения общей концентрации кислорода в монокристалле сильнолегированной кремниевой подложки с помощью масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS). Настоящий стандарт применим к легирующим концентрациям бора, сурьмы, мышьяка и фосфора.

SJ/T 11498-2015 История

• 2015 SJ/T 11498-2015 Метод испытаний для измерения загрязнения кислородом сильнолегированных кремниевых подложек методом вторичной ионной масс-спектрометрии