SJ/T 11493-2015
Метод испытаний для измерения концентрации азота в кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 11493-2015

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2015

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 11493-2015

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод определения общей концентрации азота в монокристаллических материалах кремниевой подложки методом вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС). Настоящий стандарт распространяется на легирующие концентрации сурьмы, мышьяка и фосфора.

SJ/T 11493-2015 История

• 2015 SJ/T 11493-2015 Метод испытаний для измерения концентрации азота в кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии