SJ/T 11491-2015
Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремнии методом короткобазовой инфракрасной абсорбционной спектрометрии (Англоязычная версия)

Стандартный №

SJ/T 11491-2015

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2015

Разместил

Professional Standard - Electron

Последняя версия

SJ/T 11491-2015

сфера применения

Настоящий стандарт определяет определение содержания межузельного кислорода в кремнии методом короткобазовой инфракрасной спектроскопии. Настоящий стандарт применим для измерения содержания межузельного кислорода в монокристалле кремния n-типа и монокристалле кремния p-типа с низким удельным сопротивлением методом короткобазового инфракрасного поглощения при комнатной температуре. Тест, измеряющий содержание кислорода в эффективном диапазоне от 1 × 10 атм до максимальной растворимости межузельного кислорода в твердом состоянии в монокристаллах кремния.

SJ/T 11491-2015 История

• 2015 SJ/T 11491-2015 Методы испытаний для измерения содержания межузельного кислорода в кремнии методом короткобазовой инфракрасной абсорбционной спектрометрии