Настоящий стандарт определяет метод бесконтактного измерения удельного сопротивления полуизолирующих полупроводниковых пластин. Настоящий стандарт применим для измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов с высоким сопротивлением, таких как полуизолирующий арсенид галлия, фосфид индия и карбид кремния.Диапазон измерения удельного сопротивления составляет 10 Ом·см~10 Ом·см.
SJ/T 11487-2015 История
2015SJ/T 11487-2015 Бесконтактный метод измерения удельного сопротивления полуизолирующих полупроводниковых пластин