GB/T 31351-2014
Метод неразрушающего контроля микротрубной плотности полированных пластин монокристаллического карбида кремния (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 31351-2014
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 31351-2014
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод неразрушающего контроля плотности микротрубок монокристаллических полированных пластин карбида кремния 4H и 6H. Настоящий стандарт применим для измерения плотности микротрубок с радиальным размером микротрубок в диапазоне от одного микрона до десятков микрон после односторонней полировки или двухсторонней полировки монокристаллических полированных пластин кристалла 4H и кристалла 6H из карбида кремния.
GB/T 31351-2014 История
- 2014 GB/T 31351-2014 Метод неразрушающего контроля микротрубной плотности полированных пластин монокристаллического карбида кремния
