Настоящий стандарт определяет метод испытания удельного сопротивления тонких проводящих керамических пленок методом Ван дер Пау. Диапазон применимого удельного сопротивления составляет от 1×10-5 Омсм до 1×102 Омсм.
KS L 1620-2013 История
0000 KS L 1620-2013(2018)
2013KS L 1620-2013 Методы испытаний для измерения удельного сопротивления тонких электропроводящих керамических пленок методом Ван дер Пау
2003KS L 1620-2003 Методы испытаний для измерения удельного сопротивления тонких электропроводящих керамических пленок методом Ван дер Пау