Настоящий стандарт определяет метод испытания удельного сопротивления тонких керамических пленок четырехзондовым методом. Диапазон применимого удельного сопротивления составляет от 1×10-5 Омсм до 2×102 Омсм, а толщина пленки составляет 500 мкм или менее.
KS L 1619-2013 История
0000 KS L 1619-2013(2018)
2013KS L 1619-2013 Методы испытания удельного сопротивления тонких проводящих керамических пленок с помощью четырехточечной матрицы датчиков
2003KS L 1619-2003 Методы испытаний для измерения удельного сопротивления электропроводящих тонких керамических пленок четырехточечным методом