KS D 0078-2008
Методика определения концентрации примесей в кристалле кремния методом фотолюминесцентной спектроскопии

Стандартный №

KS D 0078-2008

Дата публикации

2008

Разместил

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

состояние

быть заменен

быть заменен

KS D 0078-2008(2018)

Последняя версия

KS D 0078-2008(2018)

заменять

KS D 0078-1998

сфера применения

Настоящий стандарт охватывает метод определения концентрации примесей монокристаллического и поликристаллического кремния методом фотолюминесцентной спектроскопии.

KS D 0078-2008 История

• 0000 KS D 0078-2008(2018)
• 2008 KS D 0078-2008 Методика определения концентрации примесей в кристалле кремния методом фотолюминесцентной спектроскопии
• 0000 KS D 0078-1998