Настоящий стандарт определяет метод определения примесей углерода в хлорсиланах, включающий в основном определение метилдихлорсилана в трихлорсилане и определение метилдихлорсилана в тетрахлориде кремния. Настоящий стандарт применим для определения метилдихлорсилана в трихлорсилане и определения метилдихлорсилана в тетрахлориде кремния. Диапазон обнаружения метилдихлорсилана в трихлорсилане и тетрахлориде кремния составляет 0,000-01%~1,00%.