Этот стандарт определяет непрерывную строку буквенно-цифровой маркировки на кремниевых или других полупроводниковых пластинах. Маркировка серийного номера и соответствующая информация хранятся в базе данных, которая служит для отслеживания и контроля каждой кремниевой пластины во время производства кремниевых пластин и устройств. Этот стандарт определяет основные требования к кодированию пластин. Без обработки пластины метку можно независимо и быстро распознать вручную с помощью простого автоматического оборудования оптического распознавания символов, которое обеспечивает согласованность метки пластины производителем кремниевой пластины и способствует мониторингу изменений в процессе изготовления пластины. Настоящий стандарт распространяется на широкий спектр пластин, таких как эпитаксиальные пластины, пластины КНИ, полированные пластины и т. д. Этот стандарт определяет геометрические размеры и пространственное расположение маркировки, включая буквенно-цифровые символы, и особенно применим к полированным кремниевым пластинам с контрольными поверхностями и надрезами. Настоящий стандарт не распространяется на методы нанесения маркировки.
YS/T 986-2014 История
2014YS/T 986-2014 Технические условия на серийную буквенно-цифровую маркировку лицевой поверхности пластин