Настоящий стандарт определяет методы определения компонентов отходящих газов печей восстановления поликристаллического кремния и печей гидрирования. Настоящий стандарт применим к определению компонентов отходящих газов (водород, хлористый водород, трихлорсилан, дихлордигидрокремний и тетрахлорид кремния) в модифицированных технологических восстановительных печах Siemens и печах гидрирования. Диапазон обнаружения составляет объемную долю 0,1%~100%.
YS/T 983-2014 Ссылочный документ
GB/T 7445 Чистый водород, высокочистый водород и сверхчистый водород.
GB/T 8979 Чистый азот, азот высокой чистоты и сверхчистый азот
YS/T 983-2014 История
2014YS/T 983-2014 Метод испытаний для измерения состава реактора осаждения поликремния и отходящего газа конвертера TCS в STC