В методических указаниях рассмотрены типичные характеристики современных покрытий из углерода, наносимых методами химического или физического осаждения из паровой фазы (CVD или PVD). В центре внимания – классификация всех углеродных пленок, которая классифицирует различные типы пленок на основе их физических и химических свойств. Руководство содержит единую классификацию и номенклатуру, в частности для алмазоподобных углеродных (DLC) и алмазных пленок. С другой стороны, потенциальный пользователь может заранее выбрать подходящие типы углеродных пленок для заготовок и инструментов с покрытием. Характеристическая часть относится к важным характеристикам отдельных типов пленок, которые сегодня производятся промышленно.
VDI 2840-2012 Ссылочный документ
DIN 50015:1975 Атмосферы и их техническое применение; Постоянные испытательные среды
DIN 50016:1962 Испытания материалов, конструктивных элементов и оборудования; метод испытаний во влажной переменной атмосфере
DIN 50021:1988 Испытания на распыление различных растворов хлорида натрия
DIN 50431:1988 Испытание полупроводниковых материалов; измерение удельного сопротивления монокристаллов кремния или германия четырехзондовым методом постоянного тока с коллинеарной матрицей
DIN EN 15042-1:2006 Измерение толщины покрытий и определение характеристик поверхностей с помощью поверхностных волн. Часть 1. Руководство по определению упругих констант, плотности и толщины пленок с помощью лазерно-индуцированных поверхностных акустических волн. Английская версия DIN EN 15042-1:2006-
DIN EN ISO 1463:2004 Металлические и оксидные покрытия. Измерение толщины покрытия. Микроскопический метод (ISO 1463:2003); Немецкая версия EN ISO 1463:2004.
DIN EN ISO 2064:2000 Металлические и другие неорганические покрытия. Определения и соглашения, касающиеся измерения толщины (ISO 2064:1996); Немецкая версия EN ISO 2064:2000.
DIN EN ISO 2128:2010 Анодирование алюминия и его сплавов. Определение толщины анодно-оксидных покрытий. Неразрушающие измерения с помощью расщепленного лучевого микроскопа (ISO 2128:2010); Немецкая версия EN ISO 2128:2010.
DIN EN ISO 3497:2001 Металлические покрытия. Измерение толщины покрытия. Рентгеновские спектрометрические методы (ISO 3497:2000); Немецкая версия EN ISO 3497:2000.
DIN EN ISO 3543:2001 Металлические и неметаллические покрытия. Измерение толщины. Метод обратного бета-рассеяния (ISO 3543:2000); Немецкая версия EN ISO 3543:2000.
DIN EN ISO 3882:2003 Металлические и другие неорганические покрытия. Обзор методов измерения толщины (ISO 3882:2003); Немецкая версия EN ISO 3882:2003.