NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.

Стандартный №

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014

Дата публикации

2014

Разместил

Association Francaise de Normalisation

Последняя версия

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014

сфера применения

Эта часть IEC 62047 определяет определение коэффициента Пуассона на основе результатов, полученных путем применения испытаний на одноосную и двухосную нагрузку к материалам для тонкопленочных микроэлектромеханических систем (МЭМС), длина и ширина которых менее 10 мм, а толщина менее 10 му м.

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014 Ссылочный документ

• ASTM E132-04(2010) Стандартный метод определения коэффициента Пуассона при комнатной температуре*， 2023-11-08 Обновление

NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014 История

• 2014 NF C96-050-21*NF EN 62047-21:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных МЭМС-материалов.