NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках.
В этой части IEC 62047 определен метод испытаний на растяжение для измерения электромеханических свойств материалов микроэлектромеханических систем (МЭМС), состоящих из тонких проводящих пленок, прикрепленных к гибким непроводящим подложкам. Тонкопленочные структуры на гибких подложках широко используются в МЭМС, потребительских товарах и электронике с гибким монтажом. Электрическое поведение слоев на гибких подложках отличается от поведения независимых слоев и подложек из-за взаимодействий, связанных с интерфейсами. Различные субкомбинации
NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 Ссылочный документ
ISO 527-3 Пластмассы. Определение свойств на растяжение. Часть 3. Условия испытаний пленок и листов.*， 2018-11-05 Обновление
NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 История
2014NF C96-050-22*NF EN 62047-22:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 22. Метод электромеханического испытания на растяжение проводящих тонких пленок на гибких подложках.