Настоящий стандарт устанавливает требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование и хранение, а также безопасность метилтриэтоксисилана для промышленного использования. Настоящий стандарт применим к метилтриэтоксисилану, полученному путем очистки метилтрихлорсилана после реакции с этанолом. Молекулярная формула: CHOSi. Относительная молекулярная масса: 178,30 (согласно международной относительной атомной массе в 2011 году).