Настоящий стандарт определяет термины и определения, материалы, требования, методы испытаний, правила проверки, маркировку, упаковку, транспортировку и хранение кварцевых трубок с покрытием для процессов плазменного химического осаждения из паровой фазы. Настоящий стандарт распространяется на кварцевые трубки с покрытием (далее называемые кварцевыми трубками из полиэтилена) для процессов пластинчатого плазменного химического осаждения из паровой фазы.
JC/T 2243-2014 Ссылочный документ
JC/T 2066-2011 Диффузионные трубки из кварцевого стекла для кремния для солнечных батарей
JC/T 597-2011 Прозрачные трубки из кварцевого стекла для полупроводников
JC/T 598 Прозрачные кварцевые трубки для источника электрического освещения.
JC/T 2243-2014 История
2014JC/T 2243-2014 Кварцевая трубка, покрытая пленкой для PECVD
JC/T 2243-2014 Кварцевая трубка, покрытая пленкой для PECVD было изменено на KS B 4063-2014 Прессы прямосторонние силовые. Характеристики и размеры.