GB/T 30868-2014 Метод испытаний для измерения плотности микротрубок пластин монокристаллического карбида кремния. Химическое травление. (Англоязычная версия)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 30868-2014
сфера применения
Настоящий стандарт устанавливает метод измерения плотности микротрубок монокристалла карбида кремния методом коррозии расплавленного гидроксида калия. Настоящий стандарт распространяется на определение плотности монокристаллических микротрубок карбида кремния.
GB/T 30868-2014 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 30868-2014 История
2014GB/T 30868-2014 Метод испытаний для измерения плотности микротрубок пластин монокристаллического карбида кремния. Химическое травление.