GB/T 30867-2014
Метод испытаний для измерения толщины и изменения общей толщины пластин монокристаллического карбида кремния (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 30867-2014

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2014

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 30867-2014

сфера применения

Настоящий стандарт определяет методы испытаний толщины одиночной пластины карбида кремния и общего отклонения толщины (TTV), включая контактные и бесконтактные методы. Настоящий стандарт распространяется на одиночные пластины карбида кремния диаметром не менее 30 мм и толщиной от 0,13 мм до 1 мм.

GB/T 30867-2014 Ссылочный документ

• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 25915.1-2010 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха.

GB/T 30867-2014 История

• 2014 GB/T 30867-2014 Метод испытаний для измерения толщины и изменения общей толщины пластин монокристаллического карбида кремния