В этом стандарте указаны физические и химические свойства и опасности трихлорсилана, а также указаны меры экстренной помощи в случае утечки трихлорсилана, методы обработки места утечки и методы утилизации на месте утечки. Настоящий стандарт распространяется на обработку и утилизацию утечек трихлорсилана, возникающих в процессе производства, хранения, использования, эксплуатации, транспортировки и т. д.