NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.
Эта часть IEC 62047 определяет метод испытаний для измерения коэффициентов линейного теплового расширения (CLTE) тонких автономных твердых микроэлектромеханических систем (MEMS) из материалов (металлических, керамических, полимерных и т. д.), длина которых составляет от 0,1 мм. и 1 мм, шириной от 10 пико м до 1 мм и толщиной от 0,1 пико м до 1 мм, которые являются основными конструкционными материалами, используемыми для МЭМС, микромашин и других. Этот метод испытаний может быть применен для измерения КЛТР в диапазоне температур от комнатной температуры до 30 % температуры плавления материала.
NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 История
2014NF C96-050-11*NF EN 62047-11:2014 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.