GB/T 11446.5-2013 Метод испытаний для измерения микроэлементов металлов в воде электронной чистоты методом атомно-абсорбционной спектрофотометрии (Англоязычная версия)
В этой части GB/T 11446 указан метод испытаний для определения следов металлов меди, цинка, никеля, железа, свинца, натрия и калия в воде электронного качества с помощью беспламенного (или пламенного) атомно-абсорбционного спектрофотометра. Его также можно измерить с помощью других приборов с сопоставимой чувствительностью, таких как масс-спектрометр с индуктивно связанной плазмой (или оптически-эмиссионный спектрометр с индуктивно связанной плазмой). Беспламенная атомно-абсорбционная спектрофотометрия подходит для определения следов металлов в воде электронной чистоты EW-I~EW-III. Предел обнаружения (массовая доля) метода должен быть ниже 1×10-9. Пламенная атомно-абсорбционная спектрофотометрия подходит для определения следов металлов в воде электронной чистоты EW-IV.