DS/EN 62047-11:2013
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.

Стандартный №

DS/EN 62047-11:2013

Дата публикации

2013

Разместил

Danish Standards Foundation

Последняя версия

DS/EN 62047-11:2013

сфера применения

IEC 62047-11:2013 определяет метод испытаний для измерения коэффициентов линейного теплового расширения (CLTE) тонких отдельно стоящих твердых (металлических, керамических, полимерных и т. д.) материалов микроэлектромеханических систем (MEMS) длиной от 0 ,1 мм и 1 мм а

DS/EN 62047-11:2013 История

• 2013 DS/EN 62047-11:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.