KS D ISO 18114:2005
Химический анализ поверхности－Масс-спектрометрия вторичных ионов－Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов

Стандартный №

KS D ISO 18114:2005

Дата публикации

2005

Разместил

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

состояние

быть заменен

быть заменен

KS D ISO 18114-2005(2020)

Последняя версия

KS D ISO 18114-2005(2020)

сфера применения

Эта спецификация является относительным стандартом для масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС) на ионно-имплантированных эталонных материалах.

KS D ISO 18114:2005 История

• 0000 KS D ISO 18114-2005(2020)
• 2005 KS D ISO 18114:2005 Химический анализ поверхности－Масс-спектрометрия вторичных ионов－Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных эталонных материалов