KS D ISO 20341:2005
Химический анализ поверхности – масс-спектрометрия вторичных ионов – метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием нескольких эталонных материалов с дельта-слоями.

Стандартный №

KS D ISO 20341:2005

Дата публикации

2005

Разместил

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

состояние

быть заменен

быть заменен

KS D ISO 20341-2005(2020)

Последняя версия

KS D ISO 20341-2005(2020)

сфера применения

Эта спецификация охватывает измерения глубины масс-спектрометрией вторичных ионов (ВИМС) с использованием нескольких эталонных материалов дельта-слоя.

KS D ISO 20341:2005 История

• 0000 KS D ISO 20341-2005(2020)
• 2005 KS D ISO 20341:2005 Химический анализ поверхности – масс-спектрометрия вторичных ионов – метод оценки параметров разрешения по глубине с использованием нескольких эталонных материалов с дельта-слоями.