KS D ISO 14706:2003 Химический анализ поверхности – определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
Эта спецификация охватывает химически полированные или эпитаксиально полированные поверхности.
KS D ISO 14706:2003 История
0000 KS D ISO 14706-2003(2023)
0000 KS D ISO 14706-2003(2018)
2003KS D ISO 14706:2003 Химический анализ поверхности – определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).