GB/T 29852-2013 Метод испытаний для измерения фосфора, мышьяка и сурьмы в кремниевых материалах, используемых в фотоэлектрических приложениях, методом вторичной ионной масс-спектрометрии (Англоязычная версия)
General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 29852-2013
сфера применения
Настоящий стандарт определяет метод определения содержания фосфора, мышьяка и сурьмы в кремниевых материалах для фотоэлектрических элементов методом вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС). Настоящий стандарт распространяется на количественный анализ содержания донорных примесей фосфора, мышьяка и сурьмы в кремниевых материалах для фотоэлектрических элементов, где концентрации фосфора, мышьяка и сурьмы превышают 1×1014 атомов/см3.
GB/T 29852-2013 История
2013GB/T 29852-2013 Метод испытаний для измерения фосфора, мышьяка и сурьмы в кремниевых материалах, используемых в фотоэлектрических приложениях, методом вторичной ионной масс-спектрометрии