BS EN 62047-11:2013
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельно стоящих материалов для микроэлектромеханических систем
- Стандартный №
- BS EN 62047-11:2013
- Дата публикации
- 2013
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- Последняя версия
- BS EN 62047-11:2013
BS EN 62047-11:2013 История
- 2013 BS EN 62047-11:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельно стоящих материалов для микроэлектромеханических систем
