Настоящий стандарт устанавливает требования, методы испытаний, правила и знаки контроля, упаковку, транспортирование, хранение, сертификат качества и договор (или форму заказа) на никель-платиновые мишени. Настоящий стандарт распространяется на все виды никель-платиновых мишеней для тонких полупроводниковых пленок.
YS/T 937-2013 Ссылочный документ
GB/T 1031 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Метод профиля. Параметры шероховатости поверхности и их значения.
GB/T 14265 Общие правила химического анализа на водород, кислород, азот, углерод и серу в металлических материалах*, 2017-10-14 Обновление
GB/T 15077 Методы измерения геометрических размеров драгоценных металлов и материалов из их сплавов.
GB/T 6394 Определение ориентировочного среднего размера зерна металла*, 2017-02-28 Обновление
GJB 1580A Ультразвуковой контроль деформированного металла*, 2019-12-08 Обновление
YS/T 837 Стандартная практика ультразвуковой оценки связи C-сканирования узлов распыляемой мишени с опорной пластиной