YS/T 936-2013 (Англоязычная версия) Распыление мишени из никель-ванадиевого сплава, используемой в интегральных схемах

сфера применения: Настоящий стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля и маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, сертификаты качества, а также содержание контракта или заказа на распыляемые мишени из никель-ванадиевых сплавов для устройств на интегральных схемах. Настоящий стандарт распространяется на различные мишени для распыления из никель-ванадиевых сплавов, используемые при производстве тонких электронных пленок.

YS/T 936-2013 Ссылочный документ

GB/T 1031 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Метод профиля. Параметры шероховатости поверхности и их значения.
GB/T 14265 Общие правила химического анализа на водород, кислород, азот, углерод и серу в металлических материалах*， 2017-10-14 Обновление
GB/T 6394 Определение ориентировочного среднего размера зерна металла*， 2017-02-28 Обновление
GJB 1580A Ультразвуковой контроль деформированного металла*， 2019-12-08 Обновление
YS/T 837 Стандартная практика ультразвуковой оценки связи C-сканирования узлов распыляемой мишени с опорной пластиной

2013 YS/T 936-2013 Распыление мишени из никель-ванадиевого сплава, используемой в интегральных схемах