IEC 62047-11:2013
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.
- Стандартный №
- IEC 62047-11:2013
- Дата публикации
- 2013
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 62047-11:2013
- заменять
- IEC 47F/154/FDIS:2013
- сфера применения
- Эта часть IEC 62047 определяет метод испытаний для измерения коэффициентов линейного теплового расширения (CLTE) тонких отдельно стоящих твердых (металлических, керамических, полимерных и т. д.) материалов микроэлектромеханических систем (MEMS) длиной от 0 до 1 мм. 1 мм и шириной от 10 ?? и 1 мм и толщиной от 0@1 ?? и 1 мм@, которые являются основными конструкционными материалами, используемыми в микромашинах MEMS@ и других. Этот метод испытаний применим для измерения КЛТР в диапазоне температур от комнатной температуры до 30 % температуры плавления материала.
IEC 62047-11:2013 История
- 2013 IEC 62047-11:2013 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 11. Метод определения коэффициентов линейного теплового расширения отдельных материалов для микроэлектромеханических систем.
