ISO 14644-9:2012 устанавливает классификацию уровней чистоты твердых поверхностей по концентрации частиц в чистых помещениях и связанных с ними приложениях с контролируемой средой. Рекомендации по методам испытаний и измерений, а также сведения о
DS/EN ISO 14644-9:2012 История
2012DS/EN ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц