DS/EN 62047-13:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур.

Стандартный №

DS/EN 62047-13:2012

Дата публикации

2012

Разместил

Danish Standards Foundation

Последняя версия

DS/EN 62047-13:2012

сфера применения

IEC 62047-13:2012 определяет метод испытания адгезии между микроразмерными элементами и подложкой с использованием столбчатой формы образцов. Этот международный стандарт может применяться для измерения прочности сцепления микроструктур, приготовленных на

DS/EN 62047-13:2012 История

• 2012 DS/EN 62047-13:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур.