BS ISO 16531:2013
Химический анализ поверхности. Глубинное профилирование. Методы выравнивания ионного пучка и связанное с этим измерение тока или плотности тока для определения профиля глубины в AES и XPS.

Стандартный №

BS ISO 16531:2013

Дата публикации

2013

Разместил

British Standards Institution (BSI)

состояние

быть заменен 2020-10

быть заменен

BS ISO 16531:2020

Последняя версия

BS ISO 16531:2020

BS ISO 16531:2013 История

• 2020 BS ISO 16531:2020 Химический анализ поверхности. Глубинное профилирование. Методы выравнивания ионного пучка и связанное с этим измерение тока или плотности тока для определения профиля глубины в AES и XPS.
• 2013 BS ISO 16531:2013 Химический анализ поверхности. Глубинное профилирование. Методы выравнивания ионного пучка и связанное с этим измерение тока или плотности тока для определения профиля глубины в AES и XPS.