Этот стандарт определяет требования, методы испытаний, правила и знаки контроля, упаковку, транспортировку, хранение и контракты или заказы на поставку платиновых мишеней. Настоящий стандарт распространяется на все виды платиновых мишеней для распыления полупроводниковых устройств (далее - платиновые мишени), а платиновые мишени для других целей также могут использоваться в качестве эталона.
YS/T 791-2012 Ссылочный документ
GB/T 1182 Геометрические характеристики изделия (GPS). Геометрические допуски. Допуски формы, ориентации, местоположения и биения.*, 2018-09-17 Обновление