YS/T 839-2012
Метод испытаний для измерения толщины изолятора и показателя преломления на кремниевых подложках методом эллипсометрии (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- YS/T 839-2012
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2012
- Разместил
- Professional Standard - Non-ferrous Metal
- Последняя версия
- YS/T 839-2012
- сфера применения
- Этот метод определяет метод измерения толщины и показателя преломления диэлектрических пленок, выращенных или нанесенных на кремниевые подложки, методом эллипсометрии. Этот метод подходит для измерения толщины и показателя преломления изоляционных пленок, если пленка не поглощает тестовую длину волны, а подложка непрозрачна для тестовой длины волны, а показатель преломления и коэффициент затухания подложки на тестовой длине волны известны. . Для неизоляционных пленок этот метод можно использовать только при соблюдении определенных условий.
YS/T 839-2012 История
- 2012 YS/T 839-2012 Метод испытаний для измерения толщины изолятора и показателя преломления на кремниевых подложках методом эллипсометрии
