Настоящий стандарт определяет требования, методы испытаний, правила и знаки контроля, упаковку, транспортировку, хранение, сертификат качества и содержание контракта (или формы заказа) на мишени для распыления меди высокой чистоты для тонких пленок электронной техники. Настоящий стандарт распространяется на различные типы распыляемых медных мишеней высокой чистоты, используемых в производстве тонких электронных пленок (далее - медные мишени высокой чистоты).
YS/T 819-2012 Ссылочный документ
GB/T 14265 Общие правила химического анализа на водород, кислород, азот, углерод и серу в металлических материалах*, 2017-10-14 Обновление
GJB 1580A Ультразвуковой контроль деформированного металла*, 2019-12-08 Обновление
YS/T 347 Метод определения среднего размера зерна меди и медных сплавов.*, 2020-12-09 Обновление
YS/T 837 Стандартная практика ультразвуковой оценки связи C-сканирования узлов распыляемой мишени с опорной пластиной
YS/T 819-2012 История
2012YS/T 819-2012 Мишень из распыляемой меди высокой чистоты, используемая в электронной пленке