JC/T 2133-2012
Определение примесей в золе кремнезема для полировальных растворов в полупроводниковой промышленности. Атомно-эмиссионный спектрометрический метод с индуктивно-связанной плазмой. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- JC/T 2133-2012
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2012
- Разместил
- Professional Standard - Building Materials
- Последняя версия
- JC/T 2133-2012
- сфера применения
- Настоящий стандарт устанавливает метод определения содержания примесных элементов в силиказоле для жидкости для полировки полупроводников методом атомно-эмиссионной спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (ICP-AES). Настоящий стандарт распространяется на различные золи кремнезема, используемые в полирующих жидкостях при химико-механической полировке полупроводников (ХМП). К примесным элементам относятся: алюминий, барий, кальций, хром, медь, железо, калий, магний, марганец, натрий, никель, титан, цинк, цирконий и еще 14 элементов.
JC/T 2133-2012 Ссылочный документ
- GB/T 602 Химический реактив. Приготовление стандартных растворов примесей.
- GB/T 6682 Вода для аналитических лабораторий. Спецификация и методы испытаний.
JC/T 2133-2012 История
- 2012 JC/T 2133-2012 Определение примесей в золе кремнезема для полировальных растворов в полупроводниковой промышленности. Атомно-эмиссионный спектрометрический метод с индуктивно-связанной плазмой.
