GB/T 29057-2012
Практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 29057-2012
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2012
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2024-03
- быть заменен
- GB/T 29057-2023
- Последняя версия
- GB/T 29057-2023
- сфера применения
- 2.1 Настоящий стандарт включает процедуры отбора проб из стержней поликристаллического кремния, плавления и вытягивания образца в монокристаллы, а также анализа вытянутых стержней из монокристаллического кремния с помощью спектроскопического анализа для определения микропримесей в поликристаллическом кремнии. Эти следовые примеси включают донорные примеси (обычно фосфор или мышьяк, или и то и другое), акцепторные примеси (обычно бор или алюминий, или и то, и другое) и примеси углерода. 2.2 Диапазон измерения концентрации примесей, применимый в этом стандарте: донорные и акцепторные примеси составляют (0,002 ~ 100) ppba (одна миллиардная атомная доля), углеродные примеси составляют (0,02 ~ 15) ppma (одна миллионная атомная доля). Эти примеси в образцах анализируются с помощью низкотемпературной инфракрасной спектроскопии или фотолюминесцентной спектроскопии. 2.3 Настоящий стандарт применим только к оценке стержней из поликремния, нанесенных и выращенных на кремниевых сердечниках.
GB/T 29057-2012 История
- 2023 GB/T 29057-2023 Практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом зонного вытягивания и спектроскопического анализа.
- 2012 GB/T 29057-2012 Практика оценки стержней из поликристаллического кремния методом выращивания кристаллов в плавающей зоне и спектроскопии
