LST EN 62047-12-2011
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур (IEC 62047-12:2011)

Стандартный №

LST EN 62047-12-2011

Дата публикации

2011

Разместил

Lithuanian Standards Office

Последняя версия

LST EN 62047-12-2011

LST EN 62047-12-2011 История

• 2011 LST EN 62047-12-2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур (IEC 62047-12:2011)