В этой части IEC 62047 описаны терминология, определения, символы и методы испытаний, которые можно использовать для оценки и определения основных номиналов и характеристических параметров радиочастотных MEMS-переключателей. Положения настоящей стандартизации также применимы к RF (радиочастотным) MEMS (микроэлектромеханическим системам) переключателям с различной структурой, контактами (контакты постоянного тока и емкостные контакты), конфигурациями (последовательные и шунтирующие), коммутационными сетями (SPST, SPDT, DPDT и т. д.) и механизм срабатывания, такой как электростатический, электротермический, электромагнитный, пьезоэлектрический и т. д. Радиочастотные МЭМС-переключатели являются многообещающими устройствами в современных мобильных телефонах с множеством функций.
DS/EN 62047-5:2011 История
2011DS/EN 62047-5:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 5. Радиочастотные МЭМС-переключатели.