DS/EN 62047-3:2007 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.
Настоящий международный стандарт определяет стандартный образец для испытаний, который используется для гарантии правильности и точности системы испытаний на растяжение тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной менее 10 мкм, которые являются основными конструкционными материалами для микроэлектромеханических систем (МЭМС). микромашины и аналогичные устройства. Настоящий международный стандарт основан на такой концепции, согласно которой правильность и точность системы испытания на растяжение могут быть гарантированы, когда измеренные значения прочности на разрыв стандартных испытательных образцов, прочность на растяжение которых заранее определена, находятся в пределах установленного диапазона. Он также определяет образцы для испытаний, чтобы минимизировать характеристики.
DS/EN 62047-3:2007 История
2007DS/EN 62047-3:2007 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.