DS/EN 62047-12:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.
В этой части IEC 62047 определен метод испытаний на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации микромасштабных механических структур МЭМС (микроэлектромеханических систем) и микромашин. Настоящий стандарт распространяется на вибрирующие конструкции размером от 10 до 1000 мкм в плоском направлении и толщиной от 1 до 100 мкм, а также испытуемые материалы длиной менее 1 мм, шириной менее 1 мм и от 0,0 до 1 мм. Толщина 1 и 10 мкм. Основные конструкционные материалы для МЭМС, микромашин и т. д. имеют особые особенности, такие как типичные размеры в несколько микрон, изготовление материала методом осаждения и изготовление образцов немеханическим способом.
DS/EN 62047-12:2012 История
2012DS/EN 62047-12:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.