DS/EN 15042-1:2006
Измерение толщины покрытий и характеристика поверхностей с помощью поверхностных волн. Часть 1. Руководство по определению упругих констант, плотности и толщины пленок с помощью лазерно-индуцированных поверхностных акустических волн.

Стандартный №

DS/EN 15042-1:2006

Дата публикации

2006

Разместил

Danish Standards Foundation

Последняя версия

DS/EN 15042-1:2006

сфера применения

В этом документе даны рекомендации по методам определения упругих констант, плотности и толщины тонких пленок с помощью лазерно-индуцированных поверхностных акустических волн. В нем определены термины и описанные процедуры.

DS/EN 15042-1:2006 История

• 2006 DS/EN 15042-1:2006 Измерение толщины покрытий и характеристика поверхностей с помощью поверхностных волн. Часть 1. Руководство по определению упругих констант, плотности и толщины пленок с помощью лазерно-индуцированных поверхностных акустических волн.